真空等離子清洗機包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產生等離子體，然后氣體通入到反應腔室，使腔室中的等離子體變成反應等離子體，這些等離子體與樣品表面發生反應，生產可揮發的副產物，并由真空泵抽出。
材(cai)(cai)料(liao)表(biao)面(mian)(mian)常常會有(you)油脂、油污(wu)等(deng)有(you)機污(wu)物及氧(yang)化(hua)層，在(zai)粘合、焊接、噴漆前需(xu)要用等(deng)離子處(chu)理來得到完全潔凈和無(wu)氧(yang)化(hua)層的表(biao)面(mian)(mian)。等(deng)離子清(qing)洗(xi)技術的最(zui)大(da)特點是(shi)(shi)不分處(chu)理對(dui)象的基材(cai)(cai)類型，均可(ke)(ke)進行處(chu)理，金屬、半(ban)導體、氧(yang)化(hua)物和大(da)多數(shu)高分子材(cai)(cai)料(liao)(如：聚(ju)丙烯、聚(ju)脂、聚(ju)酰(xian)亞胺、聚(ju)氯(lv)乙烷、環氧(yang)、甚至聚(ju)四氟乙烯等(deng)，是(shi)(shi)沒有(you)極性(xing)的，這些材(cai)(cai)料(liao)在(zai)印刷、粘合、涂(tu)覆(fu)前要進行處(chu)理)等(deng)原(yuan)基材(cai)(cai)料(liao)都能很(hen)好(hao)地處(chu)理，并可(ke)(ke)實現整體和局(ju)部(bu)以及復(fu)雜結構的清(qing)洗(xi)。