等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)清洗機(ji)(plasma cleaner)也叫(jiao)等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)處(chu)理(li)(li)機(ji)，或者等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)表面(mian)處(chu)理(li)(li)儀，是(shi)(shi)一種全新的(de)(de)高科技技術(shu)，利用等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)體來達到常規清洗方法(fa)無法(fa)達到的(de)(de)效果(guo)。等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)體是(shi)(shi)物質的(de)(de)一種狀(zhuang)態(tai)，也叫(jiao)做物質的(de)(de)第四態(tai)，并不屬于常見的(de)(de)固液(ye)氣三態(tai)。對氣體施加足夠的(de)(de)能量(liang)使之離(li)(li)化便(bian)成為等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)狀(zhuang)態(tai)。等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)體的(de)(de)“活性(xing)”組(zu)分(fen)包括：離(li)(li)子(zi)、電子(zi)、原子(zi)、活性(xing)基(ji)團、激發(fa)態(tai)的(de)(de)核素(su)（亞(ya)穩態(tai)）、光子(zi)等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)處(chu)理(li)(li)機(ji)就是(shi)(shi)通過利用這(zhe)些活性(xing)組(zu)分(fen)的(de)(de)性(xing)質來處(chu)理(li)(li)樣品表面(mian)，從而實現清潔、涂覆(fu)等(deng)(deng)目的(de)(de)。